プログラムフリーザー
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
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恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
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ロックインアンプ エヌエフ回路設計 5610B
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
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パルスユニット アルバック A2KH-25
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オゾンガスモニター APPLICS OZG-EM-010K
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