プログラムフリーザー

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年11月
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