光源装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
2026年6月
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