光源装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年10月
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