光源装置

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年8月
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