mirai

  1. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. スピンコーター　エイブル　ASS-303

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope TM3000

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジョン　UV-312

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – [M241128A01]

  8. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]
  9. CNコーダーTM-400

    CNコーダー　炭素・窒素同時定量装置　ヤナコ機器開発研究所　MT-700

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL – 日本電子　SM-09010

  11. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL)　JFC-1300

  12. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  13. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  14. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-9500/LT-9010M

  15. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622A04]

  16. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  17. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  18. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  19. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500

  20. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701-AT

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