蒸着機

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年10月
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