蒸着機

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
2026年9月
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