mirai

  1. ドライポンプ　宇野澤　KTS030

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS1500V-C

  3. ベーンレス真空ポンプ/オイルフリーブロワー　オリオン機械　KCE190A-01　

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター　日本レーザー電子　NL-OPC60N

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, 10N – 10kN

  9. ドラフトチャンバー　ヤマト科学　MS-70

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  11. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　Model.1020-[M230725A02]

  12. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  13. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  14. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  15. 中真空用バキュームゲージ　岡野製作所　AVG134C11

  16. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ　M-923HG

  17. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

  18. 圧縮空気温度調節装置 ナノサーモ　オリオン機械　ACU600-MD

  19. ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック機工　DAU-100

  20. 低温恒温槽　タバイエスペック　LU-112T

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