mirai
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バイオクリーンベンチ ESCO製 型式：BCB-3E7 -[M221216a02]
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パーティクルカウンター リオン製 KC-52 -[M23025A02]
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ディスペンサーロボット（ペースト塗布装置）武蔵エンジニアリング SHOTmini 200DS
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ディスペンサーロボット（ペースト塗布ロボット）武蔵エンジニアリング製 SHOTMASUTER300DSs
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リフロー炉（リフローはんだ付け装置）日本パルス製 RF-630 -[M220308A07]
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チップマウンター（表面実装装置）JUKI製 型式：KE-760L -[M220216A02]
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スピンドライヤー コクサン製（国産遠心機） H-840SA -[M210625A03]
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]
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ダイサー Discoディスコ製 DFD-2D/8 -[M221028A04]
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コーティング機 ANDA製 型式：iCoat-X3 -[M230325A04]
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ウェハーシートリング加工機 SMHP機工製 型式D-668-[M230410A03]
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA300EX-[M210617A11]
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高圧DC電源 アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]
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膜厚コントローラー（Deposition Controller）ライボルト（インフィコン）XTC/2-[M210108A19]
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アングルバルブ ulvacアルバック製 型式 VULH40-[M210617A38]
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電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]
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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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アングルバルブ VAT製 型式26328-KA01-[M230411A03]
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ゲートバルブ VAT製 ICF114-[M230411A23]
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ヘリウムリークディテクター アネルバ製（アルカテル）ASM110 TURBO CL-[M211130A06]