mirai

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-600F -[M221028A02]

  2. ダイサー　Discoディスコ製　DFD-2D/8 -[M221028A04]

  3. コーティング機　ANDA製　型式：iCoat-X3 -[M230325A04]

  4. ウェハーシートリング加工機　SMHP機工製　型式D-668-[M230410A03]

  5. 高周波発振器（RFプラズマ発振器）　モリエンジニアリング製　型式：SFA300EX-[M210617A11]

  6. 高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

  7. 膜厚コントローラー（Deposition Controller）ライボルト（インフィコン）XTC/2-[M210108A19]

  8. アングルバルブ　ulvacアルバック製　型式 VULH40-[M210617A38]

  9. 電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]

  10. ゲートバルブ　HVA製　ICF114 & ICF86 & ICF70

  11. アングルバルブ　VAT製　型式26328-KA01-[M230411A03]

  12. ゲートバルブ　VAT製　ICF114-[M230411A23]

  13. ヘリウムリークディテクター　アネルバ製（アルカテル）ASM110 TURBO CL-[M211130A06]

  14. ヘリウムリークディテクター　島津製作所　MSE-3200R-[M211218A01]

  15. イオンスパッタ装置　真空デバイス製　MSP-1S-[M221221A05]

  16. 冷却水循環装置（空冷インバーターチラー）EYELA製（東京理化器械）CAE-2000S

  17. 引張強度試験機（デジタルフォースゲージ）SHINPOシンポ製　FGN-5B（FOS-50VB-L）

  18. 超音波溶着装置（超音波ウェルダー）精電舎電子工業製　型式ΣP-30S-[M220303A10]

  19. 窒素ジェネレーター（N2発生装置）日本サーマル製　JAN3-08D-MS-[M221201A10]

  20. 液体窒素自動供給装置（窒素精製装置）JEOL製（日本電子）NS-200-[M221220A12]

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