1. ヘリウムリークディテクター

    ヘリウムリークディテクター・ファイファー・HLT570
    （M210416A01）

    • 真空装置
  2. カーボンコーター

    カーボンコーター・真空デバイス・VC-100
    （M210408A03）

    • 真空装置
  3. プラズマCVD装置

    プラズマCVD装置・サムコ・PD-220
    （M210320A10）

    • 真空装置
  4. 真空蒸着装置

    真空蒸着装置・JEOL（日本電子）・JEE-420T
    （M201126A01）

    • 真空装置
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着イオンスパッタ共用装置・サンユー電子・SVC-720（M200316A04）

    • 真空装置
  6. チラー

    チラー（冷却水循環装置）・EYELA（東京理化機械）・CA-1115（M200408A04）

    • ユーティリティ設備
  7. RF電源

    RF電源・アステック・ARF-1053（M210320A06）

    • 真空コンポーネント
  8. EB電源

    EB電源・日新技研・NEB-10W（M210108A25）

    • 真空コンポーネント
  9. 膜厚コントローラー

    膜厚コントローラー（Deposition Controller）・インフィコン・IC/5（M210108A20）

    • 真空コンポーネント
  10. ヘリウムコンプレッサー

    ヘリウムコンプレッサー・鈴木商館・C300K（M201116A01）

    • 真空コンポーネント

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