レジスト

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年6月
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