レジスト

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    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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