ＵV洗浄装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年6月
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