ＵV洗浄装置

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年7月
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