ＵV洗浄装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
2026年9月
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