遠心エバポレーター

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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