ピラニー真空計 アルバック製 IS02-[M240200A03]



電気抵抗を利用した、真空度を測定するためのセンサーで真空度を測定するための多くの場面で使用されています。
測定子を測定環境に設置すると、真空度によって測定子への電流が変わり、一般的に測定範囲が約0.5Paから2KPa程度の真空度の測定が可能です。
ピラニー真空計は、理化学実験で真空状態を作る際や真空蒸着、凍結乾燥、医療用機器、分析機、レーザー応用装置、真空排気装置、半導体製造装置のプラズマエッチング空間、電子顕微鏡の真空状態等の測定にも使用されています。


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キーワード(メーカー)アルバック・シンクロン・佐藤真空・大亜真空・インフィコン・アネルバ・VISTA・プロダクトアイ
キーワード(品名)ピラニーゲージ・電離真空計・ペニング真空計・真空ゲージ・ロータリーポンプ・スクロールポンプ

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