（株）未来産業技術研究所

• ioncleaner

関連記事

1. 

   ウエハー剥離装置　SemiconductorEquipmento製
   型番：4800 （M190211A02）

2. 

   X線回折装置　リガク製
   型式：RINT-Ultima3 （M200623A01）

3. 

   スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）日本電子製
   型式：JUC-5000 （M190810A05）

4. 

   ディスペンサーコントローラー　武蔵エンジニアリング製
   型式：MS-10DX (M200919A09)

5. 

   オートファインコーター　日本電子製（JOEL）
   型式：JFC-1600

6. 

   ダイソーター（チップ移載装置）　アクテス京三製
   型式：ACT-1000 （M201031A02）　　　　　　　　　　

7. 

   フリップチップボンダー　東レエンジニアリング製
   型式：FC3000 （M201031A01）　　

8. 

   イオンスパッタ装置　日立製
   型式：E-1030（M220408A04）

9. 

   Thickness Monitor　日本電子製（JOEL）
   型式：FC-TM10

10. 

    ドライエッチング装置　ナノテック製
    型式：NCP-400 （M210108A04）

11. 

    ウェハーローダー　ニコン顕微鏡
    型式NWL-641 (M210114A12)

12. 

    マスクアライナー（露光装置）　ミカサ製
    型式：MA-10 （M210408A01）　　　　　　　　　　　　　

13. 

    真空蒸着装置　JEOL製（日本電子）
    型式：JEE-420T （M201126A01）

14. 

    マニュアルワイヤーボンダー　K＆S製
    型式：4124 （M210320A14）

15. 

    ピーリングテスター（剥離強度試験器）
    日本ガータ製　型式：NPT-100 （M210303A04）