ピラニー真空計

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  8. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年11月
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