メーカー：Pfeiffer Vacuum ファイファー製 型式：TMU064/TCP121
フランジ形状：（吸気側）ICF104 （排気側）NW16
※コンローラー＆接続ケーブル セット品
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ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製 TMU064/TCP121-[M220930A11]
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