sputtering

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – 日本電子　JEC-560

  2. プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A05]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701-AT

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M220930A01]

  6. DC電源 – スパッタ電源　アルバック – ulvac　DCR1502A

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL)　JFC-1300

  9. RF電源　ダイヘン　DRFS-5SA

  10. スパッタ電源 – DC電源　アルバック　DCS0202A

  11. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701 MKⅡ – [M240310A05]

  12. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

  13. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  14. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  15. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  16. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310A06]

  17. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701

  18. スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M221028A01]

  19. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

  20. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　M26107/M25-10/MWP-A30XCA

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