sputtering

  1. RF電源　ダイヘン　DRFS-5SA

  2. スパッタ電源 – DC電源　アルバック　DCS0202A

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701 MKⅡ – [M240310A05]

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M220930A01]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  8. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  9. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310A06]

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701

  11. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A05]

  12. スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M221028A01]

  13. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

  14. プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]

  15. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　M26107/M25-10/MWP-A30XCA

  16. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2502-[M230622A05]

  17. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M221221A04]

  18. イオンスパッタ装置　真空デバイス製　MSP-1S-[M221221A05]

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