sputtering

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701 MKⅡ – [M240310A05]

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M220930A01]

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  6. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  7. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310A06]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701

  9. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A05]

  10. スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M221028A01]

  11. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

  12. プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]

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