株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …