株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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恒温槽 エスペック PH-402
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400