株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…