株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…