株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…