株式会社未来産業技術研究所
メーカー:K&S 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…