株式会社未来産業技術研究所
メーカー:K&S 型式:
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050