株式会社未来産業技術研究所
メーカー:K&S 型式:
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03