株式会社未来産業技術研究所
メーカー:K&S 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…