株式会社未来産業技術研究所
メーカー:K&S 型式:
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7