株式会社未来産業技術研究所
メーカー:島津製作所 型式:
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)