原子間力顕微鏡

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック製　SH-641-[M240904A08]

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  7. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
2024年12月
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