原子間力顕微鏡

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  4. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
2024年7月
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