電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年7月
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