電子線マイクロアナライザー（EPMA）

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年10月
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