1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ピラニー真空ゲージ　アルバック製　GP-2A-[M220117A04]

  3. 真空ゲートバルブ　アルバック製（ulvac）VUGP-40

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M221221A04]

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　Model.1020-[M230725A02]

  7. スピンコーター　ミカサ製　MS-A100-[M230703A01]

  8. ディスペンサーコントローラー　岩下エンジニアリング　AD9000 – [M220308A14]

  9. エアーサンプラー（エアーダストサンプラー）　メルク製　MS-100 -[M190228A05]

  10. 卓上クリーンベンチ　湯山製作所製　YS-BA-702 -[M230502A01]

  11. 安全キャビネット　日立製　SVC1908ECⅡA2 -[M230601A03]

  12. 恒温槽　ナガノサイエンス製　CH43-15P-[M220314A72]

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