フリーザー

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年9月
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