外観検査装置
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm – [M2…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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