外観検査装置

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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