外観検査装置
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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デジタル内視鏡(ハンドヘルド産業用ボアスコープ)<…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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電気炉-マッフル炉 ヤマダ電機 Y-2025-P[M240904A1…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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