外観検査装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  9. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2024年10月
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