超音波加工機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年6月
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