超音波加工機

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. 恒温槽　エスペック　PH-402

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
2026年10月
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