粗さ計

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年8月
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