RF電源 プラズマ電源 スパッタ電源
メーカー：MKS/ENI 型式：ELITE-300
300W 13.56MHz
高周波電源は、数MHz程度の高い周波数で、一定の電圧を出力する電源です。半導体製造や液晶製造、MEMS製造、太陽電池製造、プラズマ洗浄、鉄鋼・鍛造などの業界で使用されます。プラズマ発生用の高周波電源は、高周波電界によりプラズマを励起させることで、プラズマを形成するイオンや電子を加熱することが可能です。高分子材料などの表面に照射することで、官能基の種類を選択したり、表面のラジカル種を制御したりすることで、機能性材料の開発にも利用されます。
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キーワード（メーカー）：日本高周波・山菱・IDX・ダイヘン・アルバック・アドテック・アドバンスエナジ―・明電舎
キーワード（品名）：プラズマ電源・高周波電源・DC電源・RF電源・スパッタ電源・ピナクル・MDX・EB電源
