メーカー：SHIMADZU 型式：MSE-3200R
検出感度：10-12～100Pa・m3/s［He] 最大ポート圧力：1000Pa
180°偏向形（磁場偏向磁束密度0.17T）イットリアコートイリジウムフィラメント（2本内蔵）
排気速度：モレキュラードラッグポンプ（排気構造 33L/s）FP（30L/min）RP（300L/min）
真空計：ピラニー真空計 テストポート口：NW25KF
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キーワード（メーカー）インフィコン・アネルバ・アルバック・ファイファー・アルカテル・昭和真空
キーワード（品名）リークディテクター・真空蒸着機・スパッタ装置・CVD装置・半導体
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