ヘリウムリークディテクター　島津製作所　MSE-3200R-[M211218A01]

メーカー：SHIMADZU　型式：MSE-3200R

検出感度：10-12～100Pa・m3/s［He]　　最大ポート圧力：1000Pa　　
180°偏向形（磁場偏向磁束密度0.17T）イットリアコートイリジウムフィラメント（2本内蔵）
排気速度：モレキュラードラッグポンプ（排気構造 33L/s）FP（30L/min）RP（300L/min）
真空計：ピラニー真空計　　テストポート口：NW25KF

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キーワード（メーカー）インフィコン・アネルバ・アルバック・ファイファー・アルカテル・昭和真空
キーワード（品名）リークディテクター・真空蒸着機・スパッタ装置・CVD装置・半導体

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