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  1. 表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW

  2. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  3. 真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701

  4. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JEOL) JFC-1300

  5. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  6. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ アルバック製 D-950DK

  7. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  8. 中真空用バキュームゲージ 岡野製作所 AVG134C11

  9. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-923HG

  10. 電離真空計 イオンゲージ アルバック GI-TL3

  11. 圧縮空気温度調節装置 ナノサーモ オリオン機械 ACU600-MD

  12. ダイアフラム式真空ポンプ アルバック機工 DAU-100

  13. 低温恒温槽 タバイエスペック LU-112T

  14. 恒温槽 アドバンテック DRM320DA

  15. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  16. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  17. 3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus

  18. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-7000

  19. 低温恒温恒湿槽-安定性試験機 エスペック CSH-132

  20. ドライポンプ 荏原製作所 EV-A10-3