mirai

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESANⅡ AS2PD-5

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　MF-90S-C

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  11. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  12. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  13. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  14. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  15. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA-1610

  16. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  17. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  18. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  19. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  20. ダイサー　ディスコ　DAD522

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