マイクロ波発振器

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
2026年6月
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