マイクロ波発振器

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年11月
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