マイクロ波発振器

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年9月
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