リフロー炉
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恒温恒湿槽 エスペック製 SH-641-[M240904A08]
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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