リフロー炉

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  3. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年6月
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