EPMA 電子線マイクロアナライザー
電子プローブマイクロアナライザー 電子プローブ微小分析器
メーカー:島津製作所 型式:EPMA-1610
測定可能元素:B(ホウ素)~U(ウラン)
元素組成分析 微小異物分析 各種解析
EPMAとは、真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、表面の組織及び形態の観察とミクロンオーダーの局所元素分析を行う分析機で、金属材料、地質鉱物、セラミックス、電子材料、半導体材料、さらには高分子材料や、食品、生体試料など、あらゆる固体試料の微小部分析に欠かせない装置です。
真空中で固体試料の表面に細く絞った電子線を照射し、発生する特性X線を分析することで、微小領域(1μm程度)の元素構成や分布を非破壊で分析・観察する装置です。主に鉄鋼、鉱物、材料の故障解析など幅広い分野で成分分析やマッピングに使用されています。
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キーワード(メーカー):日本電子・JEOL・日立ハイテク・島津製作所・リガク・キーエンス・プロダクトアイ
キーワード(品名):電子顕微鏡・SEM・X線分析装置・X線解析装置・元素分析・形態観察・受託分析


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