元素分析

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年8月
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