RF電源 高周波電源
メーカー：NRF（ノダRFテクノロジーズ） 型式：NR1N-15B
定格出力：1kW 周波数：13.56MHz
空冷式 プラズマ生成 発振器電力増幅器 マッチングユニット
RF電源（高周波電源）とは、無線周波数帯域（RF帯）の高周波電流を生成し供給する装置で、半導体製造のプラズマ生成（エッチング・成膜）、通信機器、医療機器、IHクッキングヒーターなど、様々な産業分野で利用され、特に半導体製造のドライエッチングでガスをプラズマ化するために不可欠です。DC電源と異なり、高い周波数で周期的に極性と出力が変化する交流電流を扱います。半導体製造装置などで、反応ガスをプラズマ状態にするためのエネルギー源となります。
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キーワード（メーカー）アルバック・ダイヘン・ノダRFテクノロジーズ・IDX・アドテック・AD-TECH・アドバンスエナジー・山菱
キーワード（品名）スパッタ電源・エッチング・スパッタリング・成膜装置・高周波電源・DC電源・マッチングボックス・プラズマ電源
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