AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテクサイエンス）　SPA-550Le-Type2

AFM – 原子間力顕微鏡 – Atomic Force Microscope
メーカー：SII(現・日立ハイテクサイエンス)　　型式：SPA-550Le-Type2
SPM　ナノインデンター　カンチレバー

AFMとは「原子間力顕微鏡」の略で、先端の尖った探針を試料表面に近づけて原子間力を検出し、ナノスケールの表面形状を三次元的に観察する装置です。SPM「走査型プローブ顕微鏡」の一種であり、金属だけでなく絶縁物も測定でき、非破壊での観察が可能です。先端に探針が付いた、カンチレバーを使用し探針を試料表面に近づけると、探針と試料表面の間に働く原子間力によってカンチレバーがたわみ、カンチレバーのたわみをレーザーで検出し、一定の力が加わるようにカンチレバーと試料の間隔を制御しながら探針を走査します。走査中に記録された探針の変位を元に、試料表面の凹凸を三次元画像として可視化します。

原子間力顕微鏡（AFM）:
　サンプル表面と探針の間に働く原子間力を利用して、表面の凹凸や物理的特性をナノメートルレベルの解像度で画像化します。
高解像度観察:
　サンプル表面の詳細な微細構造を高い精度で捉えることができます。
多機能性:
　単なる形状観察だけでなく、目的に応じて電気特性、磁気特性、粘弾性などの様々な物性評価モードを追加できる汎用性の高さが特徴です。
応用分野:
　半導体、材料科学、生物学、化学など、様々な研究・開発分野で利用されています。
この装置は、ナノテクノロジー分野における表面形状観察や物性評価に用いられます。超精密な測定を可能にする高度な光学系と自動化された制御システムを備えており、研究者や技術者が材料の微細な性質を理解するのに役立ちます。 

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キーワード（メーカー）ブルカー・オックスフォード・日本レーザー・ヤマト科学・日本カンタム・日立ハイテク・プロダクトアイ
キーワード（品名）AFM・原子間力顕微鏡・SPM・走査型プローブ顕微鏡・ナノインデンター・プローバー・半導体ウェハ

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