AFM

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年8月
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