AFM

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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