ナノインデンター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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