株式会社未来産業技術研究所
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AFM - 原子間力顕微鏡 - Atomic Force Microscopeメーカー:SII(現・日立ハイテクサイエンス) 型式:SPA-550Le-Type2SPM …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM