メーカー：アルバック（京三） 型式：SC-7017SIⅡ
1000V 15kW
この装置は、半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソーラーパネルなどの製造プロセス用直流電源です。
アークレスによるリアクティブスパッタにも対応しており、DC電圧の幅広い範囲で定格電力の供給が可能で、高速アーク遮断機能が不可欠な光学膜(SiO2,TiOx)、耐摩耗膜(SiOx,Al2O3) 及び透明伝導膜(ITO)の成膜に最適です。
RFシステムとのカップリングに対応します。
在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。 メールによるお問い合わせはこちらから。
キーワード（メーカー）アルバック・シンクロン・京三・エヌエフ回路設計・サンエー電機・高砂製作所・松定プレシジョン
キーワード（品名）スパッタ電源・RF電源・パルス電源・薄膜・真空蒸着・スパッタリング・マッチングボックス
