メーカー：JEOL日本電子 型式：JEC-550
真空蒸着・コーター・エッチャー・スパッタリング
この装置は、元素分析用カーボンコーティングを行う試料作製装置です。
非導伝性試料等へのカーボンコーティングを能率良く行うために使用します。
また、試料表面に白金などの金属をスパッタリングを行う試料作製装置です。
1機2役のツインコーターです。（メタルスパッタ、エッチング、カーボン蒸着）
カーボンコーティング、蒸着装置、ロータリーポンプ、コーティング、親水化処理、イオンエッチング
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キーワード（メーカー）サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード（品名）プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・カーボンコーター・真空蒸着
