メーカー：サンユー電子 型式：SC-708
大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置 コーティングモード/エッチングモード搭載
カソード：8′ / 2 極対向電極 Auターゲット付属
スパッタ&エッチング電流：0～50mA スパッタ&エッチング電圧：0.8 / 1.4kV
カンバーサイズ：内径φ240mm×D240mm(SUS 製)
スパッタ薄膜作製はマイクロチャネル流路形成時のPDMS表面処理にも対応
各種デバイスの電極膜／反射膜作製／サンプル表面親水化処理／PDMS表面処理
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キーワード（メーカー）サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード（品名）スパッタリング・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・コーター
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