クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

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メーカー：サンユー電子　型式：SC-708

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大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置　コーティングモード/エッチングモード搭載　
カソード：8′ / 2 極対向電極　　Auターゲット付属 　
スパッタ&エッチング電流：0～50mA　スパッタ&エッチング電圧：0.8 / 1.4kV
カンバーサイズ：内径φ240mm×D240mm(SUS 製)
スパッタ薄膜作製はマイクロチャネル流路形成時のPDMS表面処理にも対応　
各種デバイスの電極膜／反射膜作製／サンプル表面親水化処理／PDMS表面処理

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キーワード（メーカー）サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード（品名）スパッタリング・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・コーター