株式会社未来産業技術研究所

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メーカー：Pfeiffer Vacuum ファイファー製　型式：TMU064/TCP121

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フランジ形状：（吸気側）ICF104　（排気側）NW16　
※コンローラー＆接続ケーブル　セット品

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ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M230411A01]

ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

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