スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
スクロールポンプ・アルバック・DIS-251
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A10]
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スピンコーター ミカサ製 MS-A100-[M230703A01]
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） Model.1020-[M230725A02]
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スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
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CO2レーザーマーカー キーエンス ML-9110/9100-[M240706A03]
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イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M221221A04]
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イオンスパッタ装置 日立製
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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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SEM 走査型電子顕微鏡 3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡 キーエンス VE-9800 [M240210A03]
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ロータリーポンプ アルバック製
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純水製造装置オートスチル（蒸留水製造装置）ヤマト科学製 WS-33
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]
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引張圧縮試験機 ORIENTEC（オリエンテック）STA-1150 – [M231120A20]
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AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX1000 – [M221125A01]
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製
クールライン 型式：CLH610 -
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製
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