1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  1. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
2024年7月
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