株式会社未来産業技術研究所
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
恒温恒湿槽 エスペック製 SH-641-[M240904A08]
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…