1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年10月
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