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  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年7月
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