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  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

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  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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