へパフィルター

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年8月
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