光学顕微鏡

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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