株式会社未来産業技術研究所
メーカー:島津(SHIMADZU) 型式:
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恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2