株式会社未来産業技術研究所
メーカー:島津(SHIMADZU) 型式:
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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恒温恒湿槽 エスペック PR-3J