株式会社未来産業技術研究所
メーカー:島津(SHIMADZU) 型式:
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…