株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ソニープレシジョン 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…