株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ソニープレシジョン 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E