形状測定装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2025年7月
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