形状測定装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. RF電源　RFPP　RF10S

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年9月
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