メーカー：アルバック 型式：GI-TL3
測定圧力範囲：1.3×10-6～1.3×10-2Pa…WIB
電離真空計（イオンゲージ）は、スパッタリング・真空蒸着などの実験や生産プロセスの圧力測定、真空装置のメンテナンス用ツールなど、あらゆる真空装置の圧力測定で用いられます。本機は、回路構成上不安定要素は完全に除去されていますので正確で再現性のある圧力値の直読、外部接点入力によりリモートでフィラメントおよび脱ガスのON／OFF、セットポイントリレーはエミッション電流が正常時（圧力測定正常時）に出力可能など様々な特徴を持つ真空計です。
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キーワード（品名）ピラニーゲージ・電離真空計・ペニング真空計・真空ゲージ・ロータリーポンプ・スクロールポンプ
