検査機・分析機器
走査型電子顕微鏡、蛍光X線分析装置、質量ガス分析装置、放射温度計、集束イオンビーム装置、三次元表面形状測定装置
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電子天秤・OHAUS・AS313
（M201006A02）メーカー：OHAUS 型式：AS313 …
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X線回折装置・リガク・RINT-Ultima3
（M200623A01…メーカー：リガク 型式：RINT-Ultima3 …
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電子線マイクロアナライザー（EPMA）・島津・EPMA-1600
（M…メーカー：島津製作所 型式：EPMA-1600 …
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SEM 電子顕微鏡・キーエンス・VE-8800
（M201211A01…メーカー：キーエンス（Keyence） 型式：VE-8800 …
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FIB装置（集束イオンビーム装置）・SII・SMI9200IW
（M2…メーカー：SII 型式：SMI9200IW …
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クリーンブース・PIC・PI-3000R2<br>（200222A03）
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真空蒸着装置・日本電子（JEOL）・JEE-400<br>（M191213A04）
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CO2インキュベーター・フォーマ・370<br>（M190326A13）
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クイックコーター・サンユー電子・SC-701C<br>（M201126A04）
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恒温恒湿槽・エスペック・PR-2KT<br>（M201217A10）
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ルクスハイテスタ・HIOKI・3422<br>（M181122A20）
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スクリーン印刷機・ミナミ・MK-MarK Ⅱ<br>（M210326A01）
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真空蒸着装置・JEOL（日本電子）・JEE-420T<br>（M201126A01）
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ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400<br>（M210108A04）
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LCRメーター・HP・4261A<br>（M210320A15）
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オシロスコープ・テクトロニクス・TDS744A<br>（M210114A02）
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真空蒸着イオンスパッタ共用装置・サンユー電子・SVC-720<br>（M200…
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イオンスパッタ装置・日立・E-1030<br>（M200305A05）
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ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001C…
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分光エリプソメーター・大塚電子・FE-5000<br>（M210108A07） …
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ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400<br>（M210108A04）
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冷熱衝撃試験機・エスペック・TSA-301L-W<br>（M210330A01）
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走査型電子顕微鏡（SEM）・島津・SS-550<br>(M210409A01)
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恒温槽（防爆仕様）・ナガノサイエンス・CH31-12M<br>（M201217A08）
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スピンコーター・アクティブ・ACT-400AS<br>（M201105A02）
