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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]
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ダイサー Discoディスコ製 DFD-2D/8 -[M221028A04]
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コーティング機 ANDA製 型式：iCoat-X3 -[M230325A04]
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ウェハーシートリング加工機 SMHP機工製 型式D-668-[M230410A03]
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA300EX-[M210617A11]
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高圧DC電源 アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]
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膜厚コントローラー（Deposition Controller）ライボルト（インフィコン）XTC/2-[M210108A19]
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アングルバルブ ulvacアルバック製 型式 VULH40-[M210617A38]
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電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]
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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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アングルバルブ VAT製 型式26328-KA01-[M230411A03]
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ゲートバルブ VAT製 ICF114-[M230411A23]
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ヘリウムリークディテクター アネルバ製（アルカテル）ASM110 TURBO CL-[M211130A06]
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ヘリウムリークディテクター 島津製作所 MSE-3200R-[M211218A01]
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
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冷却水循環装置（空冷インバーターチラー）EYELA製（東京理化器械）CAE-2000S
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引張強度試験機（デジタルフォースゲージ）SHINPOシンポ製 FGN-5B（FOS-50VB-L）
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超音波溶着装置（超音波ウェルダー）精電舎電子工業製 型式ΣP-30S-[M220303A10]
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窒素ジェネレーター（N2発生装置）日本サーマル製 JAN3-08D-MS-[M221201A10]
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液体窒素自動供給装置（窒素精製装置）JEOL製（日本電子）NS-200-[M221220A12]