プレス機

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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